03 PROCESS KNOWLEDGE

工艺知识库

从玻璃选型到检测验证,沿真实制造路径沉淀的工艺与检测能力。

玻璃基工艺全流程

从玻璃选型到检测验证的完整制造路径

  1. 玻璃选型与来料
    玻璃选型与来料Glass Selection
  2. TGV 成孔
    TGV 成孔TGV Formation
  3. PVD 阻挡/种子层
    PVD 阻挡/种子层Barrier & Seed
  4. 电镀填铜
    电镀填铜Electroplating
  5. 退火与铜 CMP
    退火与铜 CMPAnnealing · CMP
  6. 金属化整合与表征
    金属化整合与表征Metallization
  7. 玻璃检测能力
    玻璃检测能力Inspection
7道工艺环节
9大检测维度
3阶段验证
6类关键设备

工艺参数为内部调研参考,具体窗口与配方需通过实验验证。